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中圖儀器光學3d表面輪廓儀能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質量檢測,不管是光滑或粗糙、平面或異形結構,當測量超出適配鏡頭下的單視場區(qū)域時,都可以采用自動拼接,根據(jù)不同表面特點進行重建算法的切換,無論何種形貌,都可生成“天衣無縫”的3D全景。
3D形貌地圖配合色譜圖,非常直觀;但橫向測試范圍,縱向高度尺度也很關鍵。中圖儀器研發(fā)生產的SuperView W1光學3d輪廓儀用于測量精密工件的微納米三維形貌一鍵測量,自動拼接功能能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測量。
中圖儀器SuperView W1光學輪廓儀是一款以白光干涉技術為原理,用于進行亞納米級測量的檢測儀器。對工件表面進行非接觸式掃描同時建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件的數(shù)據(jù)處理與分析,獲取反映器件表面質量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面微納米三維形貌的一鍵測量。
3d光學輪廓儀檢測儀器質量推薦中圖儀器,可以測量各種工件表面的粗糙度、平面度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況等表面形貌特征進行測量和分析,是可以測量粗糙度的3d光學輪廓儀一體機。提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,結合測量中提供的自動測量和批量測量功能,可實現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。
中圖儀器的SuperView W1 非接觸3d光學輪廓儀用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量,廣泛應用于3C電子玻璃屏及其精密配件、半導體制造及封裝工藝檢測、汽車零部件、微納材料及制造、光學加工、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。
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