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SuperViewW1光學(xué)3d表面輪廓儀器主要用于對(duì)樣品表面的2D、3D形貌進(jìn)行測(cè)量，主要測(cè)量參數(shù)為粗糙度、臺(tái)階高、幾何輪廓，主要用于超精密加工行業(yè)。

SuperView W1三維光學(xué)成像輪廓儀測(cè)粗糙度對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面粗糙度形貌的3D測(cè)量。

SuperViewW1非接觸式三維光學(xué)輪廓儀器可以測(cè)到12mm，也可以測(cè)到更小的尺寸，XY載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm，局部位移精度可達(dá)亞微米級(jí)別，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um，Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達(dá)0.1nm級(jí)別，因此可測(cè)非常微小尺寸的器件。

中圖儀器SuperViewW1非接觸式光學(xué)輪廓儀器以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。

中圖儀器3d光學(xué)檢測(cè)輪廓儀可測(cè)量程范圍內(nèi)的三維尺寸，不過(guò)主要還是用于檢測(cè)樣品表面的粗糙度、臺(tái)階高、微觀幾何輪廓等參數(shù)。

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)3d輪廓儀設(shè)備載物臺(tái)（XY）局部位移精度和線性精度為亞微米，Z向運(yùn)動(dòng)精度可達(dá)數(shù)納米，線性精度可達(dá)亞納米級(jí)別。