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中圖儀器SuperViewW1非接觸式光學輪廓儀器以白光干涉技術為原理,能夠以優于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數,廣泛應用于光學,半導體,材料,精密機械等等領域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。
中圖儀器3d光學檢測輪廓儀可測量程范圍內的三維尺寸,不過主要還是用于檢測樣品表面的粗糙度、臺階高、微觀幾何輪廓等參數。
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