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中圖儀器SuperViewW1光學(xué)3d輪廓儀設(shè)備載物臺(tái)(XY)局部位移精度和線性精度為亞微米,Z向運(yùn)動(dòng)精度可達(dá)數(shù)納米,線性精度可達(dá)亞納米級別。
中圖儀器3d輪廓檢測儀讓輪廓測量價(jià)格變實(shí)惠,適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、臺(tái)階高度、粗糙度、表面缺陷、磨損情況、孔隙間隙、腐蝕情況、波紋度、面形輪廓、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
W1光學(xué)輪廓儀是通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,分辨率0.1μm,重復(fù)性0.1%,應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,操作簡便,可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
3d光學(xué)輪廓測量儀可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),能達(dá)到微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量。廣泛應(yīng)用于如納米材料、航空航天、半導(dǎo)體等各類精密工件表面質(zhì)量要求高的領(lǐng)域中。
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